TPY-2自动椭圆偏振测厚仪

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TPY-2自动椭圆偏振测厚仪

TPY-2自动椭圆偏振测厚仪图片

产地：天津

产品介绍

TPY-2自动椭圆偏振测厚仪采用消光法自动控制，自动测量薄膜厚度和折射率，具有精度和灵敏度更高等特点。光源采用氦氖激光器，功率稳定、波长精度高。仪器采用USB接口与电脑连接，配套软件功能齐全，具有多样数据采集及处理方式，适用于不同用户的需要。

技术参数

测量范围	薄膜厚度范围：1nm-300nm；折射率范围：1-10
测量厚度最小示值（nm）	≤1
偏振器方位角范围	0°- 180°读取分辨率为0.05°
偏振器步进角	0.014°/步
测量膜厚（nm）	±1
折射率重复性精度	±0.01
度盘刻度	每格1度
仪器测量精度（nm）	±0.5（薄膜厚度在10-100nm时）
入射角调节范围	20°～90°精度为0.05°
入射光波长（nm）	632.8
光学中心高（mm）	80
允许样品尺寸（mm）	φ10-φ140（或任意形状），厚度≤15
外形尺寸（mm）	590390320
主机重量（kg）	28

	型号	名称	数量
基本配置	TPY-2	椭圆偏振测厚仪主机	1台
	TPY-2	主机电控箱	1套
		二氧化硅膜样片	1片
	TPY-2	椭圆偏振测厚仪专用软件	1套
	需另配	计算机及打印机	1套

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