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> 化学气相沉积系统(CVD)
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1200℃双管滑动式四通道混气CVD系统OTF-1200X-4-C4LV
高真空PECVD系统
快速升温CVD系统RTP-1000-F3LV
高真空CVD系统OTF-1200X-80-C2HV
生长纳米线CVD炉OTF-1200X-4-NW
高真空快速CVD系统OTF-1200X-4-RTP-C3HV
开启式单温区低真空CVD系统OTF-1200X-F3LV
带滑动法兰三温区CVD系统OTF-1200X-5-III-F3LV
高真空三温区CVD系统OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV
平行板电容式PECVD
4路质子混气管式PECVD系统
微型PECVD系统
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