震动隔离:气垫隔离
固有频率:(垂直/水平)1.5-2.0Hz
衰减方式:孔式空气阻尼
Roll-off Rate[10Hz]: -32~-35dB
水平方式:由3个自动调平阀自动调平系统
水平复位精度:±0.05/±0.1
工作条件:4-6kg / 压缩空气或瓶装液氮
1.x-y 布置系统
2.精密测量仪
坐标测量仪
半导体制造检测设备
裂变产物探测装备检查设
同位检测仪器
精密检测设备
型号选择
型号
高
孔距
量(Kg)
(Kg)