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7-PMC50干涉镜五维调整系统
产地:
北京
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产品介绍
特点:
可实现3维平移、1维旋转、1维倾斜调整。
水平平移(X、Y轴)和竖直升降(Z轴):精密线性滑块导轨导向,滚珠螺杆驱动,手动旋转台作为精调手轮,分辨率小于1微米。
旋转倾斜部分台面大,精研丝杠调整,转轴无间隙。
技术参数
:
承载面尺寸
200mm x200mm
X轴平移调整范围
±40mm
Y轴平移调整范围
-20mm—40mm
Z轴平移调整范围
-10mm—40mm
Z轴旋转调整范围
±4°
Y轴倾斜调整范围
±4°
承载重量
20kg
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