型号规格：PDC—32G－2

整机规格：8.5×10×8（长×宽×高）英寸 (216×254×203)mm

反应舱规格：Φ3×L6.5英寸耐热玻璃 (Φ76×L165)mm

反应舱有效容积：0.75L

输入电源：220 V／50Hz

整机输入功率：100 W

射频输出档：低档680V DC、10mA DC、6.8W/中档700V DC、15mA DC、10.5W/高档720V DC、25mA DC、18W

常用工作气体：空气、氩气、氮气或混合气体等

特征：紧凑的台式设备，应用一个**功率为18瓦的RF线圈，没有RF幅射，符合CE安全标准。舱盖可拆卸。

选配件：石英等离子清洗舱

提供各自计量两种不同气体进气和监测压力的气体计量混合器Plasma Flo^TM

需要：兼容的真空泵，*小速率为1.4 m³/hr，**极限为200 MTorr

包括：1/8英寸NPT针阀束引入气体和控制压力