氧气雾化吸入法是利用高速氧气气流，使药液形成雾状，再由呼吸道吸入，达到治疗的目的。其特点是雾量大小可能调节，雾滴小而均匀(直径在5μm 以下)，药液随着深而慢的吸气被吸入终末支气管及肺泡。