项目

EM6200

EM6200Z

分辨率

4.5nm (30KV)

放大倍数

15x ～ 250，000x

电子枪类型

发叉式钨丝阴极

加速电压

0 ～ 30KV

透镜系统

三级电磁透镜

物镜光阑

三个光阑可在真空外选择调节(100，100，200)

样品台

手动

X/Y轴自动

行程

X

0 ～ 50mm (大样品台0 ～ 80mm)

Y

0 ～ 50mm

Z

0 ～ 25mm (大样品台0 ～ 30mm)

R

360°

T

-5° ～ 90° (大样品台0° ～ 90°)

探测器

二次电子探测器，背散射电子探测器（可选），X-ray能谱仪（可选）

真空系统

分子泵（可选扩散泵）