技术参数：

 分辨率： 1.0nm@25kV，<2.0nm@1kV，WD2mm(Through-lens detector）

 加速电压：0.1kV --- 30kV

 探测器： 样品室内二次电子探头

Through -Lens探头

样品室内BSE探头

罗宾逊/4分割固体背散射电子探头

 样品室真空：1 - 150Pa

 放大倍数：<10倍>900，000倍

 样品台移动：X=100mm，Y=100mm，，Z=50mm， Z’=10mm

Tilt=-5～+90°， Rot=360°

 样品室尺寸：413mm宽x313mm深x313mm高

 可配附件： EDS，WDS，EBSD，CL，STEM，电子束消隐装置，激光定位仪，电子枪隔离阀， Fastrac光学显微镜，冷台，热台，拉伸台

主要特点：

 热场发射肖特基电子光源

 Through-Lens上位

 二次电子/背散射电子探测器

 可变能量技术，样品室内无场工作

 超长的灯丝寿命 (一般 15，000hrs，>25，000hrs可达)

 超大样品室，最大承载10Kg重的样品