主要特点：

专利的快速平行X光电子实时成像，可进行微区元素和化学态空间分布分析

X光电子成像保证空间分辨率优于3μm，**达到1μm

标准主机包含大面积XPS分析，、小面积XPS分析和ISS分析， XPS Imaging and XPS Mapping 等项功能

多种其它表面分析功能选件，如 AES/SAM、UPS和灵活多样的样品制备装置

可保证**能量分辨率优于 0.45eV，。足以进行精细化学结构和化学价态分析

极好的谱分析灵敏度——可进行快速数据采集和分析， 取谱只需几秒钟

同轴中和电子枪—使得绝缘样品分析简单方便和有效

高性能深度剖析－可进行表面与界面、三维成分深度分布分析

THERMO VG先进的专业表面分析软件AVANTAGE，WINDOWS NT操作平台。工业化标准，分析功能强大，操作使用直观方便，与其它商业应用软件兼容性好。