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ESS ReacTorr-V真空过程监控的紧凑型质谱系统
产地:
英国
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产品介绍
专用于监测真空处理,如真空加热处理,太阳能电池板制程等
配备全自动进样端口,可不中断或不干预式监测整个过程
可以直接与真空腔室耦合连接
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