产品介绍：

等离子体样品清洗设备Evaction E50主要用于场发射扫描电镜样品和样品室内碳氢化合物、有机物和表面碳污染的清洗。Evaction E50可以安装在电镜交换仓或样品室内，利用等离子体进行清洗，也可以用紫外线进行清洗，无需切换到低真空模式即可使用，射频功率高达50W，清洗效率高。

主要特点：

n清洗效率高（射频功率50W）

n等离子体和紫外线双重清洗

n高真空模式下运行，真空范围大

n无损清洗

n无需特殊气源

n兼容SEM、FIB等设备