仪器简介：椭圆偏振光谱是一种无损无接触的光学测量技术，基于测量线偏振光经过薄膜样品反射后偏振状态发生的改变，通过模型拟合后得到薄膜、界面和表面粗糙层的厚度以及光学性质等等，可测厚度范围为几埃至几十微米。此外，还可以测试材料的反射率及透过率。

技术参数：

* 光谱范围: 190-885 nm（可扩展至2100nm） * 微光斑可选50μm-100μm-1mm

* 探测器：分别针对紫外，可见和近红外提供优化的PMT和IGA探测器 * 自动样品台尺寸：多种样品台可选 * 自动量角器：变角范围40° - 90°，全自动调整，小步长0.01°主要特点： * 50KHz 高频PEM 相调制技术，测量光路中无运动部件 * 具备超薄膜所需的测量精度，超厚膜所需的高光谱分辨率 * 具有毫秒级超快动态采集模式，可用于在线实时监测 * 自动平台样品扫描成像、变温台、电化学反应池、液体池、密封池等多种附件 * 配置灵活