激光光谱原位分析仪(LIBSOPA-200)是激光诱导击穿光谱分析技术（LIBS）和原位统计分布分析技术（OPA）**结合的新型分析仪器。激光诱导击穿光谱原位统计分布分析技术(LIBSOPA)通过高能激光聚焦于样品表面，样品被击穿形成高温等离子体，通过检测等离子体光谱信号，获得样品的成分及元素分布信息的技术。其分析原理是：样品表面被高能激光击穿形成等离子体，等离子体光线经过滤波，分光之后被多通道的光电倍增管检测系统检测。根据光谱特征谱线波长得出被击穿位点的元素种类;定标后对应谱线的强度表示被击穿位点元素的浓度。借助精密三维移动平台在样品激发表面很好的定位和记录，实现任意点扫描，一维线性扫描，一维深度分析和二维面扫描分析，并据此获得与材料原位置相对应的各元素原始含量及状态信息，可以用统计解析的方法定量表征材料的偏析度、疏松度等信息。该方法不但有激光光谱的非接触分析，微区分析，深度分析的优点，又具备原位统计分布分析技术的原位性和统计性。LIBSOPA-200的研制成功为材料成分分析，缺陷分析，涂镀层等样品的分析应用提供了新的技术手段及质量判据。

仪器特点

1.  首台LIBS技术与OPA技术结合的新型分析仪器，多项专利技术。

2.  多元素同时分析。28个元素通道，包含C，P，S元素，线性关系良好；

3.  预剥蚀时间，积分时间，门控延迟时间动态可调。

4.  分析简便、快速，无前处理过程，避免样品被污染；

5.  分析不受样品尺寸，状态，导电性，难熔与否的影响；

6.  LIBS具有高灵敏度与高空间分辨率，非常适合涂层材料、薄膜材料分析；

7.  微小烧蚀光斑可进行局部微区分析，表面微损分析，适合材料缺陷分析；

8.  非接触测量，响应迅速，分析时间短，可满足实时分析以及在线分析的要求。

仪器参数

激光光源

Continuum SureliteTM III－10 YAG激光器

波长：1064 nm

能量：700MJ

脉宽：5-7 ns

光束发散角：0.6 mrads

真空光学系统

巴邢—龙格架法，光栅焦距750 mm

高发光全息光栅，刻线为2400条/mm

谱线范围：170 ~ 800 nm

色散率

   一级色散率：0.55 nm/mm

   二级色散率：0.275 nm/mm

分辨率：优于0.01 nm

标准检测通道数量：21个

样品扫描定位系统

三维工作台

   行程：X轴75mm，Y轴75mm，Z轴15mm

   全数字式交流伺服驱动

   位置重复精度为5μm

   工件最大重量：5Kg

CCD成像系统

指示激发激光：激光斑点准确定位，精准指示

视场大小：3mm*2mm

聚焦精度：0. 1mm

电源要求

220V/20A

外形尺寸

宽×深×高（155 cm×75 cm×160 cm）

重量

毛重约700 Kg

工作环境

温度：18～25℃

湿度：≤60%