DVIA主动隔振光学平台

DVIA-MB，专门为SEM和TEM显微镜设计主动隔振平台

精密主动隔振光学平台DVIA特点：

具有非常优秀的隔振性能，特别是在低频0.5Hz- 10Hz达到90%以上的隔振效率

采用惯性传感器，可以检测出六个自由度的振动并做补偿

采用真蜂窝三层夹心式结构台面，厚度可选100/200/300mm

进口精密主动隔振光学平台

隔振性能优异，广泛应用于扫描探针显微镜，原子力显微镜，扫面隧道显微镜，激光干涉仪 ，半导体检测设备，三维形貌分析仪和激光共聚焦显微镜等

精密主动隔振光学平台DVIA技术指标:

固有频率：0.5-100Hz

自动平衡，响应时间短，平衡速度快

钢蜂巢内核：钢制蜂窝芯，钢板厚度0.25mm，每个蜂巢面积3.2cm2

表面平整度：±0.1mm /600 mm2

台面：4.0mm厚度430 系列高导磁镍合不锈钢

底面：4.0mm厚碳钢，表面氧化处理

边墙板：2.0mm厚碳钢，包裹高阻尼聚乙烯材料

孔径： M6 (英制螺孔可选)

孔距：25mmX25mm(英制孔距可选)，最外边孔距平台边缘37.5mm

螺孔密封：每个螺纹孔下方设有柱形隔离杯密封，方便清洁

阻尼隔振方式：宽带阻尼