采用光干涉法同时测定光伏电池片栅线的线宽和线高，以及光伏电池工艺研发、生产共同面
临的3D特征尺寸。
光纤式光伏电池片膜厚测试仪
光源型
波长范围(nm)
平均寿命(Hour)
白色LED
430～700
＞50，000
卤钨灯
400～900
10，000
重氢、卤素
220～900
1，000
成像光伏电池片栅线轮廓测试仪
物镜
实际视野(mm)
光学分辨率(um)
动作距离(mm)
1x
6.6 x 8.8
11
5x
1.32 x 1.76
2
34
50x
0.132 x 0.176
0.5
13
