技术参数：

1.分辨率：1.0nm(15kV)/1.4nm(1kV)

2.加速电压：0.1KV-30kV

3.放大倍数：25-100万倍

4.样品室尺寸：最大200mm直径样品

5.束流强度：10-13到2X10-9

主要特点：

1.主动式减震器

2.***的磁悬浮分子泵系统，无需UPS保护

3.标配的五轴马达驱动全对中样品台

4.全自动样品更换气锁

5.全自动样品监控系统

6.全自动物镜光阑

7.多通道显示系统

8.自动减速系统标准配置