技术参数：

1.分辨率：1.2nm(30kV)/3.0nm(1kV)

2.加速电压：0.2KV-30kV

3.放大倍数：10-100万倍

4.大束流高分辨5nA，WD10mm，15kV时分辨率3.0nm

5.束流强度：1pA到200nA(15KV)

主要特点：

1.浸没式热场发射电子枪，束流强度最大200nA（15KV)

2.无漏磁物镜设计，便于磁性样品观测和EBSP观测不变形

3.自动光阑角控制器，无需调整光阑

4.全自动控制聚焦、合轴、消像散、控制扫描速度

5.适于配合多种分析性探头