腐蚀性气体分析仪
产品介绍 仪器简介: HPR-80(Quantitative Gas Analyser for Reactive / Corrosive Species)是专为活泼性、腐蚀性气体分析和半导体、真空过程研究而设计的仪器,快速、定量分析活泼性、腐蚀性气体混合物。 应用: · 等离子体/反应性离子蚀刻研究 · CVD / PVD / MOCVD · 半导体晶片加工研究 · 真空、等离子体过程 · 活性物质定量分析 · HF,HCl,HBr,CFC 研究 主要特点: · 加热的电抛光波纹管,快速偶合连接器 · 可清除的,带粘性流QIC校正的进样口用于定量分析 · 高灵敏度至 5 ppb, 质量数可至2500 amu. · 进样压力从 1 mtorr 至大气压 · 电容压力计,压力检测可不受分析物影响 · 稳定性好 (24h之上,小于峰高±0.5% ) · 软件 MASsoft 控制 · 矩阵反演,归一化及单峰参考 |
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