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氦质谱检漏仪 MOCVD 检漏
氦质谱检漏仪 MOCVD 检漏图片
产地:法国
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产品介绍

上海伯东德国 Pfeiffer 氦质谱检漏仪MOCVD 设备检漏

上海伯东客户厦门某大型 LED 生产企业,近日成功采购6台氦质谱检漏仪ASM 340 用于 MOCVD 设备检漏。

MOCVD 是在气相外延生长(VPE)的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。因为 MOCVD 生长使用的源是易燃、易爆、毒性很强的物质,因此在设备出厂时必须要考虑密封性,否则一旦有毒物质泄漏,后果不堪设想!

上海伯东客户某大型 LED 生产企业 MOCVD 设备检漏实例:

MOCVD 需要检漏位置:所有怀疑有漏的地方都需要进行检漏,主要检漏源供给、输运和尾气处理系统(例如管路接头、管道、焊缝等位置)。

根据客户实际需要,MOCVD 检漏基本配置:氦质谱检漏仪 ASM 340+干式真空泵ACP 28 如下图所示:

MOCVD设备检漏方法:采用真空模式检漏

1. 将设备通过波纹软管连接检漏仪 ASM 340,确认连接完毕

2. 启动 ASM 340,进入待机界面;初次启动时间大约 3min,以后启动 < 1min

3. 按下开始键,先通过 bypass 阀门启动干式真空泵ACP 28抽真空,到达一定压力检漏仪 ASM 340开始工作,同时在设备怀疑有漏的地方喷氦气;若有漏,检漏仪马上报警,显示该喷射点有漏。

4. 检测完毕,按下检漏仪待机键,放气、关闭电源,移除连接管路。



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