Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵

上海伯东代理的美国 Brooks 旗下 Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵有效地捕捉占高真空腔体内残留气体 65% 到 95% 的水汽。Polycold MaxCool 系列冷冻机为闭环低温制冷系统，制冷功率最高 4000W。Polycold 冷冻机利用低温盘管原理，将水蒸气凝固在一个冷表面上。MaxCool 深冷机也可用于冷却和加热物件(例如半导体晶圆处理中使用的静电夹头)，目前 Polycold 冷冻机主要应用于半导体和镜片镀膜行业，客户通过使用 MaxCool 水汽深冷泵，产能可增加 20% 到 100%，并显著提高沉积膜质量。MaxCool 4000 H 深冷泵提供单管路和双管路配置满足客户不同应用，可搭配伯东德国 Pfeiffer 分子泵，罗茨泵，干泵共同使用。冷冻机 Polycold ® MaxCool 4000 H 是旧款型号单管路 PFC-1102 HC、双管路 PFC/PFC-1102 HC 全新升级款！～

Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵优点：

高真空抽气时间缩短 75%

高速水蒸气抽除能力：工作区间内 10，000 到 220，000 l/s

产品产量提高 20% 到 100%

在工艺过程中降低水蒸汽的分压力，从而获得更高质量、更好的附着力、和多重沉积膜特性

相对于液氮制冷的麦纳斯冷却器其表现出更优越的性价比

低功率，低能耗

Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵主要技术参数：