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Pfeiffer 分子泵 Hipace 80
Pfeiffer 分子泵 Hipace 80图片
产地:德国
产品类型:无油泵
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产品介绍

Pfeiffer 涡轮分子泵Hipace 80

上海伯东销售维修德国普发涡轮分子泵Pfeiffer HiPace 80 抽速可达到 71 l/s 高性能涡轮分子泵。 Hipace 80 对所有气体的高抽速和极高压缩比使其广泛应用于真空行业。集成驱动电路,适用于工业环境,通过保护等级 IP54、半导体 S2、UL / CSA 认证。通过控制器监控运算数据保证分子泵的最高安全性。涡轮分子泵Hipace 80 可以任意位置安装。自然风冷,多种配件可选满足广泛应用。

涡轮分子泵Hipace 80 技术参数:

分子泵型号

接口 DN

抽速 l/s

压缩比

最高启动压强mbar

极限压力

全转速气体流量hPa l/s

启动时间

重量

进气口

排气口

氮气

  N2

氦气He

氢气 H2

氮气

  N2

氮气N2

hPa

氮气N2

min

kg

HiPace 80

63

16

67

58

48

> 1X1011

22

< 1X10–7

1.3

1.75

2.4

分子泵应用 Hipace 80

分析仪器:电子显微镜、检漏、小型质谱、表面分析、残余气体分析

半导体:PVD、inspection、bonding、MBE、load-locks

工业:医学技术、工业检漏、隔离真空、灯管制造

研发:核研究、等离子研究、粒子加速器、冷冻研究、纳米技术、生物技术

上海伯东客户分子泵应用一:Hipace 80,Hipace 400 用于分子束外延 MBE,主要针对金属薄膜及材料器件的氧化物外延生长。

上海伯东客户分子泵应用二:Hipace 80,Hipace 300 用于SPECS 近常压光电子能谱仪设备

上海伯东客户分子泵应用三:Hipace 80,Hipace 300 用于自主搭建真空腔体

分子泵抽速 Hipace 80对不同气体的抽速:

涡轮分子泵 Hipace 80尺寸图:


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