产品介绍 KLOE 微流控芯片光刻机/曝光机 UV-KUB系列 图片 简介 法国KLOE公司在光刻方面有着丰富的经验,其研发的UV- KUB系列光刻机是一种基于UV LED的曝光机系统,结构紧凑,可以直接放置在实验台上,能够处理zui大直径4英寸的晶圆,兼容硬接触(接触式)或者软接触(接近式)工艺,可自动调整掩膜高度以适应不同的基板厚度,可使用365 nm或405 nm的光源,不需要预热,也不需要单独的冷却单元。另外,UV-KUB系列先进的设计,保证了光源的准直性和均匀性,其zui小分辨率可达2μm,zui大发散角小于2° 本系统适用于市面上常用的光刻胶,如AZ系列、Shipley系列、SU-8系列和K-CL系列。 规格参数
功能图解 UV-KUB 2型光刻机,是国际市场上一款采用UV-LED光源系统的光刻机,其配备了基于LED光源的光学头,使用寿命大大提高,结构小巧,性价比高,非常适合实验室应用。 UV-KUB 3是一款带对位功能的UV-LED曝光机,光源为365nm,其触摸屏和CCD相机代替了传统的显微镜及双筒目镜,控制器提供了图像捕获、测量以及对齐坐标的记录等功能,可以实现预对准,这样,用户再通过操作手柄便能方便的进行对准操作。 UV-KUB 2 UV-KUB 3 应用系统 微流控芯片 MEMS器件 |
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