Nanonics先进的扫描探针显微镜（SPM）十年前就首创了集成进SEM&SEM/FIB的联用系统。Nanonics提供广阔的功能选择，不仅在扫描探针显微镜（SPM）自身领域，还包括了与探针相关的核心领域。因此，NanoToolKit探针工具包的设计****的开放，针尖完全可见。多种探针给SEM/FIB系统带来了独特的功能升级，如光学，热学和其他功能性模块。

首位接受此功能的用户完成了以前所有电子和离子束用户都未实现的功能，在军工测试和加工领域都有重要的应用。

Nanonics意识到这是一个新应用的开始，并和这些用户积极的合作完成这个领域的新方向研究，因此用SPM和SEM/FIB联用系统提供给用户比独立AFM或SEM/FIB系统更多的可能性。Nanonics客户因此可以任意使用合适的SPM探针在电子束激发的同时探测器件的某种特性。