爱德华STP-iXA2206
产品介绍 STP-iXA2206系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内**的性能,可将小型电源供给集成到机载控制器内(成熟的STP-iXA2205系列的****)。该泵的高度等于STP-A2203C的高度,也等于STP-iXA2205系列(不带其电源供给(iPS-1200))的高度。这一完全集成的产品易于安装且占地面积小,可作为所有应用工具的一体化解决方案。 用途 · 金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物) · 电子回旋共振(ECR)刻蚀 · 薄膜沉积CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD · 溅射 · 离子注入源,射束线泵送和站 功能与优势 · 紧凑型设计,包括完全集成的控制器 · 创新性自传感轴承系统 · 数字化5轴控制 · 与现有涡轮泵相比振动级别降低了50% · 可以配置为运行腐蚀性制程 技术数据
*最大气流适用于在15-25 °C之间的水冷却温度下连续泵送N2或Ar气体,并且使用前级泵(10,000 l/min大小)的情况。它会随条件变化而变化。 |
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