Talysurf CCI三维非接触形貌仪采用CCI（专利技术的相干相关算法）干涉原理，可高精度测量表面形貌、表面粗糙度及关键尺寸，并计算关键部位的面积和体积。主要应用于数据存储器件，半导体器件，光学加工以及MEMS/MOEMS技术以及材料分析领域。

技术参数：

(1) 类型： CCI 干涉（相干相关干涉）

(2) 分辨率： 0.1 A

(3) 测量点数： 1，048，576 ( 1024 x 1024 点阵 )

更详细参数和有关应用问题请垂询办事处产品负责人。

主要特点：

•专利的相干相关算法

•0.01nm分辨率

•10-20秒测量时间

•RMS重复性：0.03A