4010L型气体稀释校准仪
产品介绍 仪器特点: 稀释气质量流量计可控制到0-10SLM; 源气质量流量计可控制到0-100SCCM; 4路校准气入口和1路吹扫口; 1路稀释气入口,5路输出口和1路排空口; 55个按键薄膜键盘; 24位数字输入/输出, 2路串行通讯输出,RS232输出; 大而明亮的彩色显示器; 外部PC键盘接入端口; 并行打印端口; 空气源控制端口。 性能参数: 稀释入口:1路标准; 源气入口:4路标准,1路吹扫; 稀释流量:0-10SLM(0-20SLM可选); 源气流量:0-100SCCM/0-10000SCCM; 流量精度:≤±1%FS; 流量重复:≤±0.15%FS; 线性:≤±0.5%FS; 入口压力:20-35 PSIG; 多路输出:标准6个输出口; 内置臭氧发生器参数: 输出:5SLPM下0.05-1.5ppm; 精度:1%SP或5SLPM下2ppb; 流量:100±1 SCCM; 紫外灯温度:50±0.1℃。 内置紫外吸收光度计参数: 量程:0-0.5,1.0,2.0ppm; 线性:±1ppb或±1%FS; 精度:±1ppb; 零点漂移:<±1ppb/24小时或30天; 流速:1.0 LPM; 模拟输出:0-0.1/1/5V。 内置稀释炉参数: 材质:玻璃或特氟龙; 尺寸:1个稀释管; 可调温度:高于环境温度5度到65度; 温度精度:<±0.1℃; 操作:55个按键,键盘或串行端口; 校准定义:20个工厂定义流路; 校准类型:气体稀释,臭氧,GPT; 气体定义:2个稀释气,20个源气; 自动校准:20个程序驱动定时, 7天事件,用户可自定义; |
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