气体稀释校准器
产品介绍 稀释气质量流量计可控制到0-10SLM; 源气质量流量计可控制到0-100SCCM; 2路校准口入口和1路吹扫口; 1路稀释气入口,3路输出口和1路排空口 稀释入口:1路标准; 源气入口:1路标准,1路吹扫; 稀释流量:0-10SLM(0-20SLM可选); 源气流量:0-100SCCM(0-2SLM可选); 流量精度:≤1%FS; 流量重复:≤±0.15%FS; 线性:≤±0.5%FS; 响应时间:<1分钟; 操作:按键,键盘,串口,USB,以太网; 校准定义:20个工厂配置流路,每个流路可最大20个线性点; 校准类型:稀释气,臭氧,GPT; 仪器特点: 操作简单,方便; 温度显示稳定,可靠; 压力可调,面板带压力表; 可方便地放入渗透管。 性能参数 温度控制:基于微处理器的比例温控系统; 温度传感器:RTD; 前面板安装:调压器,压力表,温控器,稀释炉入口 特氟龙炉身尺寸:内径3.09cm,长度12.7cm, 温控范围:高于环境温度2℃到65℃, |
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