GC8800系列

高纯气杂质PDHID分析

高纯氦杂质分析

H2，O2，Ar，N2，CO2，CH4 最小检测量优于 20ppb

高纯二氧化碳杂质分析

H2，O2，Ar，N2，CH4 最小检测量优于 20ppb

高纯氢杂质分析

N2，H2，CH4，CO2，CO最小检测量优于 20ppb

下列仪器关键部件均由美国VICI等公司进口

PDHID检测器

氦气纯化器

流路系统

样品过滤器

色谱柱

GC8802

SF6杂质单柱PDHID分析

色谱仪

分析SF6中CO，CF4，CH4，CO2，C2F6，SF6，SO2F2，C3F8

GC8803

含氟气体分析专用色谱

一次进样后完成全分析

检测器：高灵敏度、耐腐蚀的TCD

进样：VICI自动采样阀技术

采样：无死体积采样或在线采样

方式，一次性完成常见杂质检测。

重复性：RSD≤1％。

检出限：H2-100ppm; F2-100ppm; Kr-500ppm; HCL-500ppm