多功能高级磁控溅射喷金仪—nanoEM

nanoEM是Moorfield Nanotechnology推出的一款高精度的磁控溅射喷金仪。该系统可配备SEM样品托、TEM网、普通样品等多种专用样品台，满足各种高精度的喷金或电极生长需求。除了溅射金属电极外，nanoEM还具有极大的拓展空间，虽然作为台式设备，nanoEM配备了输出功率可达300W的溅射源，系统还可选择样品台旋转、样品倾斜、自动压强控制等多种功能。丰富的选件和配置可以满足学术研究的多种样品生长需求，可升级成为一台多功能的磁控溅射薄膜制备系统。该设备作为灵活的高精度金属溅射仪备受各大实验室的青睐。

主要特点：

◎ 能够达到学术研究级的多功能喷金仪

◎ SEM托、TEM网、普通样品多种专用样品台可选

◎ 可安装两个2英寸溅射源

◎ 通用的溅射靶材

◎ 本底真空<5×10^-7 mbar

◎ 流量计精确控制生长气氛

◎ 可调式DC溅射源，输出功率可达300W

◎ 全自动，引导式触屏控制

◎ 完备的安全性设计

◎ 易于维护

◎ 兼容超净室

◎ 稳定的性能表现

系统选件：

◎ 腔体视窗

◎ 真空泵型号可选

◎ 气压全自动控制系统

◎ 溅射源挡板

◎ 等离子体辉光电极

◎ 样品台旋转与倾斜

◎ 晶振膜厚监测系统