技术参数：

真空腔主要技术参数：

腔体漏率小于2×10-10atm cc/sec

小于0.5%端口对准误差

玻璃球抛光

7步清洗过程

可选配置

MU金属内层作为磁屏蔽罩

不锈钢内层，用于沉积系统

电镀抛光

水冷

低温保持器隔热罩

主要特点：

Johnsen Ultravac公司的超高真空腔有很多种配置，可以提供适合用户各种特殊要求和性能的腔体。

Johnsen Ultravac公司生产的超高真空腔体性能优异。在腔体的制造过程中，JUV的工程师们特别重视消除任何可能的漏气现象，腔体的真空度都能好于10-11Torr。每一个端口都经过精心的校准，确保它们能够准确的装载各种配件。在进行切削加工时，特别注意避免腔体遭到各种材料的污染；在完成切削后，所有的部分会被仔细清洗，并在超净间中进行焊接；最后，在完成端口位置的再一次确认后，超高真空腔体才会进行最后的清理与包装