小型磁控溅射仪JS-1600M
产品介绍 一、 产品应用: JS-1600M型磁控溅射仪是依据二极(DC)直流溅射原理设计而成的,最简单、可靠、经济的镀膜设备。适用于电镜实验室的扫描电子显微镜(SEM)样品制备,非导体材料实验电极制作。 二、 配置及技术指标: 1. 本系统装配了水冷却磁控靶,靶面直径为50 mm 2. 主机规格:L360mm*W300mm*H380mm 3. 靶(上部电极):金:直径:50mm,厚度:0.1mm 4. 真空样品室: 直径:160mm,高:120mm 5. 溅射面积: Ф50mm 6. 真空指示表: 最高真空度:≤ 4X10-2 mbar 7. 离子电流表: 最大电流:100mA 8. 定时器: 最长时间:3600S 9. 微型真空气阀: 可连接φ3mm软管 10. 可通入气体: 多种 11. 最高电压: -1600 DCV 12. 机械泵: 2L/S 三、 产品特点 1. 轻便、溅射面积大 2. 可以溅射铂、金及银等金属 3. 溅射效率高,可水冷降温 |
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