应用：

◆ 硅外延层的CV测试；

◆ 半导体器件及化合物半导体（GaAs/SiC）的CV/IV测试。

技术参数：

SSM公司的汞探针CV测试设备是半导体器件、化合物半导体（GaAs/SiC）行业的标准设备，行业占有率超过９０％。其多项专利技术保证了测试的高精确性及重复性。

主要特点：

◆ 高精度和准确性的参数测试(Qeff， Qot， Fbd， Vbd， K...)；

◆ 在半导体和化合物半导体（GaAs/SiC）行业超过９０％的市场占有率；

◆ 高重复性（<1%）；

◆ 非破坏性；

◆ 双重的filer保护系统确保Hg的使用安全。