规格＆应用：

-主室尺寸 215，230（dia）；ISO 100（旋转法兰，涡轮泵）

-80mm样本卡盘，均匀性好

低漏泄电流-10fa以下

陶瓷背部：用于背部偏置或隔离 MBG25，MBG40

-真空范围：1x10E 3 or 6 torr

-温度范围：77K～570K，LN2（温度选项：770K可用）

-260(10K)～300(570K)，780K，1000K.氦气

-显微镜＆CCD摄像机

-真空定位器支架

-真空泵及计量系统

-根据用户需求.....（可定制）