该系统基于超高分辨率光热诱导纳米红外光谱和化学成像，超高分辨散射型近场光学光谱和成像、纳米级傅里叶变换红外光谱和拉曼成像光谱技术，可实现中红外红外光谱测量和成像、可见光，中红外近场光学成像功能、对应波长拉曼光谱和成像功能、纳米级空间分辨傅里叶变换红外光谱的测量，适合于分析无机和有机样品。

1光路系统

1）.红外光源照明方案采用上方侧面照射，样品上光源的照射位置与AFM针尖位置一致。光路调整通过软件实现全自动马达控制

2）软件中可以二维图像显示激光热点，通过软件自动控制马达来优化光斑位置达到很大的信噪比

3）模块化设计，光路的后期校正无需人工调整，优化激光斑点聚焦和位置可通过软件分别进行无相互干扰控制。为实现光路优化的良好效果，软件马达控制光路准直器。

2 AFM-IR纳米红外光谱系统

自动检测激光能量，软件自动调整红外光源的能量，为得到准备光谱数据，软件自动扣除激光背景

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3 近场扫描光学显微镜

采用散射型近场光学激发和收集设计，配有多光路系统，可实现多束激光同时聚焦到探针上，分辨率为10nm。

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4 原子力显微镜

适用于纳米尺度的光学成像和获得光谱稳定度高的原子力显微镜