INFICON 皮拉尼标准真空计， PSG500， PSG502-S， PSG510-S 和PSG512-S，

采用市场可提供的***数字皮拉尼技术. 坚固耐用的不锈钢传感室和小型的

设计结构使它们成功地应用于半导体系统以及标准场合， 如前级真空管道中.

优点

■ 简易的按钮 ATM 和 HV 调整

■ 节省空间的耐用结构

■ 铝外壳

■ 任何方位安装

■ 带金属密封馈入件的不锈钢测量室

■ 易于集成的对数讯号输出

■ 10 巴**充压， 有螺纹连接件

■ 250 °C 可烘烤型

■ 镍灯丝选件， 用于腐蚀性的应用

■ 陶瓷馈入件， 用于高度腐蚀性的应用 (PSG510 和PSG512)

■ 可选设点

■ 符合RoHS (危害性物质限制指令)

用途

■ 控制高真空电离真空计

■ 监测前级真空压强

■ 真空系统中的安全电路

■ 常规真空测量和在粗/细真空范围内的控制