INFICON的冷阴极和皮拉尼的复合真空规MPG400和MPG401， 测量范围从

5x10-9毫巴至大气压(3.8 x10-9乇至大气压).将两种测量方式组合在一个具有对

数模拟输出的小型单元内，大大地降低了安装，设置和集成的复杂性.

优点

复合真空规 – 冷阴极与皮拉尼

宽的压强测量范围从5x10-9 毫巴至大气压

无可烧毁的灯丝

**的引燃功能

易清洗

FPM 或金属密封的馈入件

高压加上时LED 指示灯亮

对数模拟输出讯号

应用

高真空压强监测

蒸发和溅射系统的压强测量

一般真空测量和控制，从中至高真空范围