主动减震台/光学平台

品牌：Herz

型号：TS-150

描述：TS-150主动隔振台是一款紧凑型动态隔振系统，可用于抵消工作环境对高灵敏度精密设备产生的不必要振动，以提高精密设备的工作性能，使用简便，具有优异的隔振性能及通用性。适用于各类透射式电子显微镜(TEM)、扫描式电子显微镜(SEM)、发射式电子显微镜、探针显微镜、扫描隧道显微镜、原子力显微镜（AFM）、横向力显微镜、白光干涉仪，光刻机，微纳米结构和加工仪器！超低频隔震台、防震台、减震台、除震台，隔振台，主动隔振台，主动减振台，主动防震台，主动防振系统。

工作原理

TS 系列主动隔振台采用先进的隔振技术，可以隔离6个空间方向的振动（包括水平方向和垂直方向），TS 系列主动隔振台利用控制器内的压电加速传感器将外界振动的压力信号转换为电信号发送至隔离模块中的压电换能器中，随后压电换能器将产生一个与传入压力大小相等，方向相反的压力信号来消除传入振动。隔振系统利用一个反馈回路消除隔振系统的机械共振。

产品亮点：

六个自由度全方位隔振

研究级压电传感技术

即插即用系统

LCD实时显示（振动水平，重量分布等）

主动隔振性能突出

集成简便

专注科研，无需安装和维护

应用范围：

原子力显微镜

干涉测量

轮廓测量

3D轮廓仪

表面轮廓仪

纳米光子学

白光干涉仪

三维表面形貌分析仪

超景深显微镜

激光干涉仪

光镊应用

超高速光通信

升级选项：

工作台集成 （包括架子，监控器支架，键盘托盘等）

隔音箱集成 (如静噪器，AEK-2002及定制隔音设备)

定制面板尺寸及材料 （通常为阻尼铝板，面板可定制不锈钢，铁磁钢，可打孔）

振动器集成（激励源）

远程显示 （重量分布，内部电机调平，X/Y/Z轴振动水平，启动/关闭组件，开关隔振台）

远程电源 （免受电磁噪音或热量干扰）

技术参数：

型号：TS-150/LP ※可选：TS-150/LP/TP25

系统配置：完全整合

主动隔振范围：频率大致为 0.7 ～ 300 Hz (超过300 Hz为被动隔振)

幅度: 20 um (垂直和水平)

高度调节：自动

搬运或运输期间锁定：自动锁定功能

隔振条件：可在前显示屏上观察到。可通过将示波器连接到后面板上的BNC 插座观察8 轴振动状态。

安装板尺寸：400 (W) x 450 (D) mm

整体尺寸 (大约)：400 (W) x 450 (D)x 78 (H) mm

负载能力(同等 /低重心）：150 kg（考虑到负载上的偏心重量，请在最大负载能力80% 范围内使用）

系统重量 (大约)：18 kg

输入电压：90 ～ 120 ＶAC， 200 ～ 240 VAC， 43-60 Hz

功耗：隔振期间最大 10 W，负载调整期间最大 20 W

温度范围：5 ℃ ～ 40 ℃

相对湿度：10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃），10 ～ 60 %（30 ～ 40 ℃）

服务场所：仅用于室内

工作高度：高达2，000 m

选项1 TP25 安装板: 铁磁拉丝不锈钢410 表面， 无漆，

M6-25 mm XY 矩阵钻孔和螺孔，有效攻丝深度: 6 mm

选项 2 遥控盒

选项 3 内置减振功能的高刚性框架

隔振效果：

性能对比图：AFM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含TS 系列隔振台。当使用TS系列隔振台搭载AFM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。