 产品介绍 Semiconsoft MProbe Vis膜厚测试仪 让你成为测量专家 ！ 大部分半透明的或具有轻微吸收性的薄膜能够被快速、可靠的测量：氧化物、氮化物、感光耐蚀膜、聚合物、半导体(Si， aSi，polySi)、硬涂层(SiC， DLC)， 聚合物涂料 (Paralene，PMMA，聚酰胺)，薄金属薄膜等。
MProbe系统
厚度范围: 15 nm-50 um 波长范围: 400nm -1100 nm LCD， FPD应用: ITO， 细胞间隙，聚酰胺。光学涂层: 介质滤波器，硬涂层，防反射涂层半导体和电解质: 氧化物，氮化物， OLED堆 实时测量和分析。各种多层次的， 薄的，厚的，独立和不均匀层。 丰富的材料库 (500多种材料) – 新材料容易增添。Cauchy， Tauc-Lorentz， Cody-Lorentz， EMA 等 使用灵活: 可联网在操作台桌面或现场进行研究与开发。 用TCP或Modbus接口能容易的和外部系统连接。 测量参数：厚度、光学常数、表面粗糙度。 界面友好强大: 测量和分析设置简单。 实用的工具：仿真和灵敏度分析，背景和缩放修正，连接层和材料，多样品测量，动态测量和生产批量处理。
测量300 nm 硅氧化膜 测量与模型数据拟合 主要参数
从硅晶片原反射比。信号最大（16位）。 积分时间：10ms
测量500nm AlN. 测量参数：厚度和表面粗糙度。 换算系数应用到正确的距离以改变配置。
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