高分辨率紫外波前传感器
产品介绍 高分辨紫外波前传感器 PHASICS公司将SID4产品系列扩展到UV波长。集合了PHASICS所有先进技术(4波横向剪切干涉法*)的SID4 UV-HR光谱范围为190到400 nm。 采样分辨率为250 x 250个测量点适合用于测量光学器件(可用于光刻、半导体等)和表面检查(例如晶片检验)。 有高灵敏度的SID4 UV-HR是具有成本效益的检测高分辨率紫外解决方案。 主要特点 • 高分辨率(250 x 250) • 大孔径(8,0 mm x 8,0 mm) • 覆盖UV光谱 • 高灵敏度(0,5 nm) • 优化信噪比 • 适用于光学测量 参数
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