产品介绍 Semiconsoft MProbe薄膜测厚仪 M p r o b e 让 你 成 为 测 量 专 家 ! 大部分半透明的或具有轻微吸收性的薄膜能够被快速、可靠的测量: 氧化物、氮化物、感光耐蚀膜、聚合物、半导体(Si, aSi,polySi)、半导体化合物(AlGaAs,InGaAs,CdTe,CIGS)、硬涂层(SiC, DLC), 聚合物涂料 (Paralene, 聚甲基丙烯酸甲酯, 聚酰胺), 薄金属薄膜等。 厚度范围: 1 nm-1 mm 波长范围: 200nm -5000nm 在薄膜太阳能电池中的应用: aSi, TCO, CIGS, CdS, CdTe-全太阳能堆栈测量 LCD, FPD应用: ITO, 细胞间隙,聚酰胺。 光学涂层: 介质滤波器,硬涂层,防反射涂层半导体和电解质: 氧化物,氮化物, OLED堆。 实时测量和分析。各种多层次的, 高强度的,厚的, 独立和不均匀的层 。 丰富的材料库 (500多种材料) – 新材料容易增添。 支持参数化材料: Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA 等? 使用灵活: 可联网在操作台桌面或现场进行研究与开发。用TCP或Modbus接口能容易的和外部系统连接。 测量参数: 厚度、光学常数、表面粗糙度。 界面友好强大: 测量和分析设置简单。背景和缩放修正,连接层和材料。 离线数据分析: 仿真和灵敏度分析,多样品测量,生产批量处理。 MProbe系统示意图
主要参数
* T, n & k 测量的厚度范围为25nm – 5um 其他配置也是可以做到,欢迎原始设备制造商咨询和定制开发项目。 对所有系统中的配件有一年的质量保证。 |
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