产品描述

Nano View-3000是高端机型，包括：非接触3D形貌测量，更广的测量范围（5mm可选），自动聚焦功能（可选），拼接和线路纵断面等功能。

产品规格

干涉物镜：5物镜可选(程控）

扫描范围：0-180um（270um，5mm可选）

垂直分辨率：WSI：﹤0.5nm ，PSI ：﹤0.1nm

横向分辨率：0.2-4um（取决于物镜和FOV）

倾斜度：±6°

工作平台：NV-P2020 200X200mm（程控）

NV-P4050 400X500mm（程控）

应用领域

Nano View系列为LCD（液晶显示器）、IC Package（芯片封装）、Substrate（基板）、Build-up PCB（积层板）、MEMS（微机电系统），Engineering Surfaces（工程表面)等等领域提供纳米级别精度的量测。