主要特征：

? **高通量聚焦离子束（FIB）加工系统

? 紧凑式设计以便灵活布局-安装空间减少20%

? 低加速电压时出色的性能

? 快速寻找观察位置的平台系统

主要规格：

离子源：Ga（镓）液态金属离子源

图像分辨率：5nm

束电流：最大至60 nA

加速电压：1～30Kv

放大倍率：×60 （用于视场搜索）

×200～×300，000

图片获取：平台搜索（可选）

样品台1（标准）：5轴马达驱动样品台

样品台2（可选）：侧插式测角样品台

沉积物：**个GIS装置

碳、钨、铂

装置：主要部件+操作台