Q?Motion精密线性平台

压电惯性驱动器

压电陶瓷惯性驱动器为空间节约型且价格实惠的基于压电陶瓷的驱动器，其保持力相对较大，行程几乎是无限的。惯性驱动原理是基于由特殊驱动器电控提供的修正锯齿波电压控制的单个压电促动器。促动器缓慢膨胀，移动转子。由于其惯性，转子无法跟上促动器随后的快速收缩，停留在其位置上。工作频率高达20千赫兹时，驱动直接作用在动轮上，实现最大为6毫米/秒的速度。

真空和无磁性环境

所有Q?Motion®线性平台都适用于高真空中的操作，真空可达10-6 百帕。可按需提供无磁性版本。

Q?Motion精密线性平台

直接测量原理

线性平台配备非接触式测量光学线性编码器和参考点开关。分辨率为1纳米。

应用领域

微装配， 光子， 光学对准， 显微镜， 高能束线设备， 半导体技术， 测试