FOP-MicroPZ 微型光纤渗压计
产品介绍 产品介绍 FOP MicroPZ微型渗压计的设计基于微型MOMS(微光学机械系统)压力传感器的非接触挠度测量技术,制造MOMS压力传感器时采用了光刻技术。 MOMS压力传感器有一个柔性隔膜,安装在密封真空腔体的顶部,其压力测量原理基于法布里-珀罗白光干涉技术。法布里-珀罗腔由两个反射镜面组成,一面是柔性隔膜的内表面,另一面是固定在引线光纤端面上的基准光学表面。压力会导致法布里-珀罗腔的长度发生变化。 由于光纤读数仪或数据记录仪可以在各种温度、电磁干扰(EMI)、湿度和振动条件下一致而准确地测量腔长,因此该系统即使在最恶劣的条件下也能获得可靠的压力测量结果。FOP-MicroPZ渗压计装有不锈钢保护套和一块多孔不锈钢透水石,从而确保它的机械坚固性,并且不锈钢透水石能保护传感元件不受固体颗粒的影响,从而只感测被测流体的压力。这款传感器包括外壳在内的总直径为4.8mm,总长度为54 mm。 这款微型渗压计是为工业和土木工程应用而设计的。MOMS压力传感器是在玻璃和硅片上批量生产的,采用了来自半导体行业的成熟光刻技术。 产品特点
产品应用
技术规范 |
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