产品介绍 Lumetrics 品牌OptiGauge系列厚度测量系统采用了短相干光源的迈克尔逊干涉仪原理。测量原理:低相干迈克尔逊干涉仪如图所示: Light Source(短相干光源)发出短相干光束,经Beamsplitter分束成两束光,这两束光通过准直仪聚焦到Measurement arm(测量臂)和Reference arm(参考臂)上; 在测量臂段,光束经待测物前后两表面反射产生两束反射光;在参考臂段,光束被delay line(延迟线路)中的扫描参考镜反射。 各反射光束经光纤返回到Beamsplitter 中,此时扫描反射镜反射的光束分别与R1和R2两束光发生干涉产生两干涉信号经探测器(光电二级管)转换为电信号再由显示仪显示。参考镜位置可以精确移动,当干涉仪的测量臂与参考臂光程相等时,才能够发生干涉。这样通过监控参考镜的移动,就可以 测量被测镜的位置。 OptiGauge测厚仪特点1. 非接触式、非破坏性; 2. 实时在线测量或离线测量; 3. 可单次测量多层膜,最高可测 20 层; 4. 探针灵活配置,实现多个不同目标测量 (最多可配8个探头); 5. 测试速度快(1s) 6. 适用范围广 测厚仪性能参数:
测厚仪应用领域:Lumetrics 产品既可以提供独立的测量头,也可以集成在各种设备中,广泛应用在以下领域, 1、光电子行业: 2 、薄膜行业:测量塑料薄膜的厚度 3 、医疗行业:测量滴液管、塑料管壁厚、糖尿试纸、血袋等 4、单件元件厚度控制(特别适用于红外材料,测量厚度控制平行度) 5 、平板玻璃厚度测试:浮法玻璃、液晶平板 透镜中心厚及胶合间隙测量 |
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