气体净化系统

气体净化系统应用于维持高气密性箱体内的高纯惰性气体环境，除手套箱净化外，还可以应用于类似的密闭系统。

EP系列气体净化系统有多个型号的净化柱及循环风机供选择或者采用多组净化系统的叠加使用。

EUP系列净化系统为满足容积超过50立方米以上密闭空间的迅速净化，满足3D打印、OLED等行业超大净化空间的需求。

主要特点：

*真空密封的循环系统 *密闭循环 *净化能力H₂O<1PPM，O₂<1PPM

*PLC自动控制 *触摸屏操作 *高可靠性 *灵活的配置组合

高纯供气系统

艾明坷公司高纯供气系统主要应用于钢瓶气、管道气及气体发生器等的高纯连续供气，应用于超微量水、氧分析仪、气相色谱仪、常压离子质谱仪等各类气体分析仪器纯化载气或零点气，也可用于超高纯度气体管道安装施工中的吹扫气体，更可以为半导体工艺设备提供超高纯的工艺气体。

气体净化系统根据采用常温或则高温吸附剂，电化学抛光316L不锈钢管件，出气口配置微米过滤器，其气体纯化指标达到各项杂质含量小于1PPM的世界先进水平。

气体配比仪采用高精度质量流量计，电化学抛光316L不锈钢管件，双卡套或则VCR气体接头。