MicroMaster 激光直写光刻机

MicroMaster 是一款多功能的紫外激光写入器，具有高精度的组件，专为用户在感光层上设计创建最高自由度的微结构。MicroMaster 是一个完整的操作系统。它拥有405纳米波长光学模块，能够在光阻层中写入最小0.8微米的结构。这个用户友好的工具支持高达4095级的灰度或纯二进制模式，并允许3D光学结构，表面结构以及掩模项目。 激光控制的实时自动对焦和激光强度控制，确保整个曝光过程中的高质量成像。MicroMaster 广泛应用于半导体光刻， LED芯片， 微流控芯片， 微纳结构， 灰度光刻， 三维加工， 全息影像等多个领域。

MicroMaster 无掩模激光直写系统性能规格