Agilent B1505A半导体测试仪(功率器件分析仪/曲线追踪仪)

Agilent B1505A
主要特性与技术指标 一般特性
?基于 PC 的仪器，具有 Windows ? XP Professional 操作系统
?具有旋钮扫描功能的曲线追踪模式
?针对 HPSMU、HVSMU、HCSMU 和 MFCMU 模块的 10 个模块插槽
?通过 Desktop EasyEXPERT 软件进行离线数据分析和应用测试开发
 测量能力
?大功率 SMU 的测量范围是 10 fA 至 1 A 与 2 μV 至 200 V
?强电流 SMU 的测量范围是 10 pA 至 20 A 与 200 nV 至 40 V
?高电压 SMU 可在 3000 V 时执行次微微安泄漏测量
?多频率（1 kHz 至 5 MHz）电容测量单元可在高达 3000 V 直流偏置时测量电容
 源能力
?高电压 SMU 可在 8 mA 时提供 1500 V 的电压或在4 mA（脉冲或直流）时提供 3000 V 的电压；脉冲宽度为 500 μs 至 2 s
?强电流 SMU 可在 20 V（脉冲）时提供 20 A 的电流，在 40 V（直流）时提供 1 A 的电流；脉冲宽度为 50 μs 至 1 ms
?高电压 SMU 可在 8 mA 时提供 1500 V 的电压或在4 mA（脉冲或直流）时提供 3000 V 的电压；脉冲宽度为 500 μs 至 2 s
?强电流 SMU 可在 20 V（脉冲）时提供 20 A 的电流，在 40 V（直流）时提供 1 A 的电流；脉冲宽度为 50 μs 至 1 ms
 B1505A 产品手册（2009 年 6 月）： 测试功率器件的综合测试解决方案
 模块选型指南
 模块 所需插槽数 主要规范
B1510A HPSMU 2 高达 200 V、1 A，10 fA 当前分辨率
B1512A HCSMU 2 20 A/20 V（脉冲）；1 A至40 V（直流）
B1513A HVSMU 2 1500 V/8 mA；3000 V/4 mA（脉冲和直流）
B1520A MFCMU 1 1 kHz 至 5 MHz，高达 3000 V 直流偏置，使用偏置 T 型接头

              Agilent B1506A功率器件分析仪/曲线追踪仪

主要特性与技术指标

B1506A 通用特性

高达 3 kV/1500 A 的运行范围

-50 °C 至 +250 °C 的全自动快速热测试

自动创建功率器件（半导体和元器件）技术资料

自动记录功能可以避免数据丢失

B1506A IV 套件特性

快速的全自动封装和晶圆上器件 IV 测量（Ron、BV、泄漏、Vth、Vsat 等）

窄 IV 脉宽（低至 10 μs），以防止器件自热，并测量器件真实性能

示波器视图（时域视图）提供实际电压/电流脉冲波形监测，以确保精确测量

可扩展配置，支持添加 CV 和 Qg 功能，以及扩展电流范围由 20A 升至 500 A 或 1500 A

B1506A 完整套件特性

全部 IV 套件特性

高达 3 kV 的封装器件晶体管输入、输出和反向转移电容（Ciss、Coss、Crss、Cies、Coes、Cres）和栅极电阻（Rg）测量功能

封装器件栅极电荷（Qg）曲线测量

功率损耗计算（传导、驱动和切换损耗）