液氨加热至800～850℃,在镍基催化剂作用下,将氨进行分解,可以得到含75%H2、25%N2的氢氮混合气体:
用此法制得的气体是一种良好的保护气体,可以广泛地应用于半导体工业、冶金工业,以及需要保护气氛的其他工业和科学研究中。
用液氨分解来制取保护气体,在工业上是很容易实现的,这是因为:
1、氨易分解:常压,800～850℃在催化剂作用下,即使空速较大,氨分解度仍可超过99%。
2、气体精制容易:作为液氨纯度是很高的,其中挥发性杂质只有少是惰性气体和水分,特别值得注意的是其中含O2极微,同时,氨分解时不可能有副反应发生。由此可见,氨分解后气体只要设法除去比较容易除去的少量水分就能得到精制了,半导体工业上所不希望存在的金属离子cl、CO2等问题都不存在了。
3、原料液氨容易得到。价格低廉,而且原料消耗也比较少(每公斤氨可产生2.6M3混合气体。)
氨瓶中蒸发出来的氨气经过氨阀控制后进入分解炉,分解炉内装有镍基触媒,在800～850℃温度下进行分解,分解后高温气体经热交换器进行冷却,而氨气进预热,氨分解装置出口接有分子筛的气体净化装置。可以进一步提高混合气的纯度。

本装置液氨瓶送来的氨经过进氨阀进入汽化器,汽化器内装有电加热元件,电加热元件对汽化器内的水加热,一般水温控制在45-60℃,液氨在汽化器内得到温水传过来的热量。汽化成气态氨,一般汽化后的氨压力控制在0.4-0.5MPa,氨气经减压阀减压后,压力调到0.05 MPa左右。经过降压后的氨气由耐腐流量计量,从流量计流出的氨气在热交换器中进行热量交换,使氨气温度升高,由分解炉出来的高温混合气被降温,经升温后的氨气进入分解炉进行分解成氢氮混合气,高温混合气进入热交换器,水冷却器降温,然后送到使用地点。如果需要纯度较高的氢氮混合气,后面可以用FC型纯化装置进行纯化处理。