产品参数：

● HDPE高分子耐腐蚀、易清洁内腔，带排废功能

●SUS耐腐蚀不锈钢机身，耐溶剂性PC透明盖子

●4.3寸全彩触屏人机界面，提供触屏笔操作

●100W直流无刷电机，单片机控制

●内腔直径200mm，可处理碎片(小于1cm)至6英寸圆晶底物

●转速可控范围：100-12000rpm，转速分辨率：1rpm

●加速度可控范围：100-30000rpm/s

●可进行多步程序运行，最多可存贮10组10步程序

●带一只自动点胶端口，可升级自动点胶功能

●宽输入电压适用：AC100-230V输入

●带真空和盖子开关互锁功能，确保操作安全

●可选择设置开机密码功能，提高设备操作安全性

产品外型尺寸：270(W)*387(D)*258(H)